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優勢特點：
  精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、穩定可靠、工作壓力范圍寬等特點，其操作使用方便、可任意位置安裝、并便于于計算機連接實現自動控制。

規格參數：

1)流量規格：（0~5，10,20,30,50,100,200,300,500）SCCM  (0~1，2，3，5，10)SLM

2)準確度：±1.5 %F.S

3)線性：±1 %F.S

4)重復精度：±0.2 %F.S

5)響應時間：電特性：10sec  氣特性：≤4sec

6)工作壓差范圍：（0.1~0.5）MPa

7)耐壓：3MPa

8)工作環境溫度：5℃~45℃

9)輸入輸出型號：0V~+5.00V

10)電源：+15V 50mA          -15V  200mA

11)重量：1.1kg